200 mm/秒で最大400 mmの連続スキャン
最大400 × 400 mmのX-Y軸移動範囲
384,000 points/s
仕様
| モデル名 | JR25 | JR50 |
JR100 | PS50 | ST400 | ST500 |
| X-Y軸 可動範囲 | 25 x 25 mm | 50 x 50 mm | 100 x 100 mm | 50 x 50 mm | 200 x 150 mm |
400 x 400 mm |
| Z軸 可動範囲 | 30 mm Manual | 30 mm Manual | 25 mm Manual | 30 mm Manual | 50 mm Manual |
50 mm Manual |
| X-Y軸 最大移動速度 | 20 mm/s | 20 mm/s | 20 mm/s | 20 mm/s | 40 mm/s |
200 mm/s |
| 標準ポイントセンサー | PS1 | PS2 | PS3 | PS4 | PS5 | PS6 |
| 最大測定高さ | 110 μm | 300 μm | 100 x 100 μm | 1.1 mm | 3.5 mm |
10 mm |
| 操作距離 | 3.3 mm | 10.8 mm | 12.2 mm | 16.5 mm | 26.6 mm |
20 mm |
| ステージ位置精度（X-Y） | 0.8 μm | 1.7 μm | 2.6 μm | 4.6 μm | 11.0 μm |
11.0 μm |
| 高速ラインセンサー | LS1 | LS2 | LS3 |
| 最大測定高さ | 200 μm | 0.95 mm | 3.9 mm |
| 操作距離 | 5.3 mm | 18.5 mm | 41 mm |
| 計測ライン幅 | 0.96 mm | 1.91 mm | 4.78 mm |
| 計測ライン幅 | 1 μm | 2 μm | 5 μm |
■原子間力顕微鏡アクセサリー
AFMの3D機能をサブナノメータ領域まで拡大。横方向も含めて1オングストローム単位で表示します。
製品ラインナップ
JR25
ポータブル最小サイズ
JR50
ポータブルサイズ
JR100
超高速ポータブルサイズ
PS50
最先端コンパクト
ST400
モジュール式スタンダード
ST500
大面積&超高速測定